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【摘 要】介绍“微电子”及其微电子技术的主要内容,对微电子技术和其它学科结合而衍生出一系列新的交叉学科,如微机电系统,生物芯片等进行论证,展望微电子技术的发展方向.

【关 键 词】微电子；延伸领域；发展方向

1.引言

微电子技术是随着集成电路,尤其是大规模集成电路发展起来的一门新技术.微电子产业包括系统电路设计,器件物理,工艺技术,材料制备,自动测试及封装等一系列专门的技术的产业.微电子产业发展非常迅速,它已经渗透到了国民经济的各个领域,特别是以集成电路为关键技术的电子战和信息战都要依托于微电子产业.

微电子技术是微电子产业的核心,是在电子电路和系统的超小型化和微型化的过程中逐渐形成和发展起来的.微电子技术也是信息技术的基础和心脏,是当今发展最快的技术之一.近年来,微电子技术已经开始向相关行业渗透,形成新的研究领域.

2.微电子技术概述

2.1认识微电子

微电子技术的发展水平已经成为衡