关于陀螺方面开题报告范文,与微机械陀螺仪的封装提纲相关论文致谢

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论文摘 要 : 微机械陀螺仪的封装问题是关系其实用化的主要因素之一.通过调研及分析国内外微机械陀螺及其封装的发展现状,本论文对北京（略）轴微机械音叉陀螺进行器件级真空封装研究以及对该陀螺做性能测试分析. 论文分析了微机械陀螺的结构和工作原理,同时讨论了真空封装能提高微机械陀螺灵敏（略）误差的相关理论,通过理论研究和实验分析相结合,采用了真空冷压焊技术,确定了真空封装微机械陀螺的驱动端品质因数Q与封装腔内的气压近似反比关系,提供（略）EMS微小封装内真空度的方法. 考虑到封装应力对器件性能的影响,本文从粘接胶、基底材料与器件的杨氏模量、热膨胀系数等方面对陀螺的谐振频率的影响做仿真分析和试验,得到采用胶1和陶瓷基底的封装形式使得封装应力最小.同时,对器件的封装热应力分析,得到分散空气泡对器件的（略）提出一种产生分散空气泡的贴片方法.此外,对封装好的微机械陀螺做了性能测试,得到封装腔内气压为600Pa,驱动谐振频率为9065.32Hz,Q值为432.27,标度因数为2.61mv/deg/s,非线性为0.424%,不对称度为0.545%,零偏值为13.04deg/s. The encapsulation of micro-machined gyroscopes is（omitted）e main factors which are related to their applications. Thro（omitted）search and analysis of the development status of micro-mechanical gyroscopes and encapsulation at home and abroad, we（omitted）e research on the vacuum encapsulation of Z-axis micro-mechanical tuning fork gyroscope, which is designed by （omitted）versity, and the test and analysis of its performance. （omitted）esis, there is an analysis of the structure and working principle of ...目录:摘 要 第4-5页Abstract 第5页第1章 绪论 第8-16页·,研究目的与意义 第8-9页·,国内外发展现状 第9-14页·,微机械陀螺发展 第9-13页·,微机械陀螺封装 第13-14页·,研究内容与方案 第14-15页·,本章小节 第15-16页第2章 微机械陀螺的动特性分析 第16-33页·,微机械陀螺的结构 第16-20页·,滑膜驱动机理 第18-19页·,压膜检测机理 第19-20页·,微机械陀螺对轴向加速度的响应 第20-21页·,微机械陀螺品质因子Q 第21-23页·,微机械陀螺的阻尼分析 第23-30页·,结构阻尼 第23-27页·,空气阻尼 第27-30页·,微机械陀螺仪的误差分析 第30-32页·,正交耦合误差 第30-31页·,阻尼不对称 第31-32页本章小结 第32-33页第3章 微机械陀螺的器件级封装 第33-50页·,真空封装 第33-37页·,真空冷压焊封装 第34页·,真空度及其检测 第34&#