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摘 要 :具有高精度的调平工作台是精密测量设备重要组成部分之一.本文设计了楔形块推动精密微小轴承机构实现工作台的调平,避免了构件之间存在滑动摩擦的现象.分析了调平的具体操作过程,计算了偏转角度与驱动进给位移的关系.该平台具有结构简单紧凑、承载能力强、成本低等优点.
关 键 词 :调平,算法,精密测量
1.前沿
随着科技水平的不断提高,现代制造业向着精密制造的方向发展,这对测量设备的精度提出了更高的要求,往往达到微米级,甚至亚微米级.精密调平工作台是圆柱度仪、齿轮测量机、三坐标测量机等测量设备的重要组成部分,因此,人们对调平工作台所要实现调平的精度要求也越来越高.目前,国内使用的精密调平工作台多使用凸轮[1]、楔块[2]机构实现调平,没有避免构件之间的滑动摩擦,由其产生的蠕变现象降低了调节的精度,国外使用的精密调节工作台已完全达到自动化的程度[3],通过计算机分析传感器采集到的数据,控制电机的旋转量来实现工作台的调节,但价格非常昂贵.因此设计一种结构简单、性能可靠、价格较低、避免滑动摩擦的精密调平工作台是现代测量行业的一个重要课题.
2.三点调平算法
2.1调平原理
工作台调平的过程如图1所示,首先将工件固定在调平工作台上,调平工